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欧姆龙
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欧姆龙晶圆片托架落座传感器EE-SPY801
欧姆龙
晶圆片托架落座传感器
EE-SPY801

晶圆片托架的落座检测。 通过与导槽并用的方式设定落座位置。 与晶圆片托架的接触面使用了耐化学药品性强的氟素树脂。
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